Menyediakan lingkungan eksperimental dengan vakum, atmosfer yang dapat dikontrol, dan suhu tinggi, digunakan dalam semikonduktor, nanoteknologi, serat karbon, dan bidang lainnya.
Sistem pertumbuhan CVD ini cocok untuk proses CVD, seperti pelapisan silikon karbida, pengujian konduktivitas substrat keramik, pertumbuhan terkontrol struktur nano ZnO, dan eksperimen sintering atmosfer MLCC.
1. Tungku terbuat dari adsorpsi vakum serat polikristalin mullite, bidang suhu seragam dan hemat energi lebih dari 50%
2. Pengalihan udara yang dikembangkan sendiri dan teknologi insulasi panas memastikan masa pakai dan efek suhu konstan dari setiap komponen di dalam kotak
3.Ketika tungku listrik dinyalakan, kipas angin akan secara otomatis bekerja pada saat yang bersamaan. Setelah pengujian, kipas buang akan terus berjalan hingga suhu badan tungku lebih rendah dari 60 °C, dan kipas buang akan berhenti secara otomatis, yang secara efektif melindungi permukaan badan tungku.
4. Pintu tungku dibuka dengan power-off otomatis, fungsi perlindungan suhu berlebih, dan fungsi perlindungan kebocoran untuk memastikan keamanan penggunaan.
5. Sirkuit mengadopsi mode keluaran pemanasan terus menerus, catu daya sirkuit ganda, dan kabel terpisah dari arus kuat dan lemah meningkatkan stabilitas sistem
6. Modul pemanas mengadopsi sinyal DC untuk menyesuaikan daya keluaran, yang menghindari gangguan listrik yang diinduksi ke sinyal kontrol.
7. Tombol logam bertegangan rendah digunakan untuk tombol operasi, dengan lampu indikator status, operasi yang aman dan intuitif.
8. Badan tungku atas dan bawah dihubungkan oleh colokan penerbangan, yang aman, andal, dan nyaman untuk dihubungkan.
9. Rakitan sirkuit gas terbuat dari baja tahan karat food grade 316, yang memiliki ketahanan korosi, ketahanan korosi atmosfer dan ketahanan suhu tinggi, dan non-magnetik
10. Mengadopsi instrumen tampilan aliran digital, bekerja sama dengan pengontrol aliran massa, mengumpulkan data dan aliran kontrol. Ini memiliki karakteristik pengulangan yang baik, kecepatan respon yang cepat, stabilitas dan kehandalan. (Sistem Kontrol Aliran Massa Gas)
11. Kontrol otomatis dan fungsi pengalihan kontrol manual, mode kontrol otomatis dapat secara otomatis membuka/menutup pompa vakum melalui nilai yang ditetapkan, sehingga wadah dapat disimpan dalam kisaran tekanan vakum tertentu. Mode kontrol manual menggunakan pengguna untuk mengoperasikan pompa vakum secara langsung melalui tombol on/off pompa vakum. untuk memenuhi kebutuhan percobaan yang berbeda. (Sistem kontrol vakum sedang)
12. Teknologi mulai lambat katup solenoid membuat katup solenoid terbuka 10 detik setelah pompa vakum dihidupkan, sehingga tekanan sistem dalam tabung tungku tetap akurat, dan juga memastikan bahwa gas buang tidak akan kembali ke tungku sistem tabung untuk mempengaruhi efek eksperimental (sistem kontrol vakum menengah)
Model | CVD-LTF12P50 | CVD-LTF12P60 | CVD-LTF12P80 | CVD-LTF12P100 |
CVD-LTF12T50 | CVD-LTF12T60 | CVD-LTF12T80 | CVD-LTF12T100 | |
CVD-LTF12P50S | CVD-LTF12P60S | CVD-LTF12P80S | CVD-LTF12P100S | |
CVD-LTF12T50S | CVD-LTF12T60S | CVD-LTF12T80S | CVD-LTF12T100S | |
Kisaran suhu pengoperasian | 300-1200°C | |||
resolusi suhu | 1°C | |||
akurasi suhu | ±1°C | |||
Tingkat pemanasan | 0-20°C/menit | |||
Panjang zona pemanasan | 420mm | |||
Panjang zona suhu konstan | Zona suhu tunggal：210mm；Zona suhu ganda：280mm | |||
vakum maksimum | -0,1MP3 | |||
Waktu pemanasan tungku kosong | ≤15 menit | |||
Tingkat pemanasan saat mengkonfigurasi tabung tungku | Di bawah 500°C≤5°C/min; 500-800≤ 10°C/min; 800-1000≤5°C/min; 1000-1200≤2t°C/min | |||
Bagian luar | Lembaran baja canai dingin - lapisan tahan bahan kimia permukaan | |||
Tubuh tungku | Serat Mullite Polikristalin | |||
Ukuran tungku | Luar：φ240-550mm；Dalam：φ120*420mm | |||
Tabung tungku | Tabung kuarsa | |||
Ukuran tabung tungku | φ50/43*1000 | φ 60/53*1000 | φ80/72*1000 | φ 100/92*1000 |
Pemanas | Kawat paduan nikel-kromium-aluminium OCr27A17MO2 | |||
Daya pemanas | Zona suhu tunggal：3KW：Zona suhu ganda：3.2KW | |||
Lapisan isolasi termal | Pengalihan udara paksa berlapis ganda | |||
Buka jalan | Clamshell back flip (sekitar 100 derajat) | |||
Pengontrol | P: Tampilan digital kontrol suhu program yang diimpor; T: Kontrol suhu program layar sentuh berwarna 7 inci | |||
Metode kontrol | Menggunakan kontrol PID mikrokomputer / kontrol suhu tunggal zona suhu ganda tipe-S | |||
Tetapkan jenis | P: Sentuh lima tombol untuk tindakan, pengaturan tampilan digital; T: Sentuhan jari dan ketuk untuk mengatur | |||
Metode tampilan | P: tampilan digital LED garis ganda; T: layar LCD berwarna | |||
Pengaturan waktu | 0-999,9 jam | |||
Jalankan fungsi | Operasi nilai tetap. Operasi program | |||
Modus program | P: Program berjalan, 4 kurva, total 40 langkah; T: Maksimum 50 langkah, program yang disimpan dapat dipanggil | |||
Sensor | termokopel tipe K | |||
Fungsi bantu | P: Fungsi koreksi; T: Fungsi koreksi, perekaman kurva waktu nyata, ekspor data disk U | |||
Peralatan keselamatan | Sakelar perlindungan kebocoran arus lebih | |||
Jumlah jalur udara | 3 saluran (jumlah saluran udara dapat dipilih sesuai dengan kebutuhan spesifik) | |||
Rentang aliran | 0-0500sccm (Standar ml/mnt, opsional) Standar nitrogen | |||
Presisi | ±1%F.S | |||
Waktu merespon | ≤4 detik | |||
Temperatur pengoperasian (pengukur aliran) | 5-45°C | |||
Tekanan pekerjaan | Tekanan saluran masuk 0,05-0,3MPa (tekanan pengukur) | |||
Koneksi sistem | Mengadopsi bellow koneksi cepat KF, katup flapper manual vakum tinggi dan alat pengukur vakum tampilan digital | |||
Rentang vakum sistem | 10-100 Pa | |||
Pompa vakum | Tingkat vakum pamungkas teoretis dari pompa mekanis dua tahap adalah 3 × 10-1Pa, laju pemompaan adalah 4L / S, saluran keluar udara dilengkapi dengan filter oli, tegangan pengenal 200V, dan daya 0,55Kw | |||
Konfigurasi sistem CVD | Tungku tabung vakum terbuka 1200 derajat (opsional zona suhu tunggal, zona suhu ganda) Sistem kontrol aliran massa multi-saluran sistem vakum bengkok | |||
Dimensi tubuh tungku | 980mm * 400mm * 600mm | |||
Dimensi Sistem | 770mm * 580mm * 778mm | |||
Total berat sistem | 210kg | |||
Kami memiliki bengkel produksi standar dan tim produksi yang lengkap. Mereka selalu menghasilkan sikap serius dan bertanggung jawab untuk menghasilkan setiap produk. Tim R&D kami terdiri dari insinyur profesional multi-aspek seperti insinyur desain, spesialis teknologi, spesialis berkualifikasi, dan manajer kontrol proses, dll. Spesialis berkualifikasi kami benar-benar mewujudkan pengawasan komprehensif proses berdasarkan sistem kontrol proses kualitas kami, yang berisi desain produk , penelitian dan pengembangan, pengujian, produksi, pemeriksaan kualitas, dan pengemasan.
Kemasan produk kami telah terbukti dalam jangka panjang dan kami biasanya memiliki kotak kayu lapis atau karton dengan baki. Kami akan mengatur kemasan yang sesuai dengan berat dan ukuran barang. Tentu saja, Anda juga dapat memilih bentuk kemasannya.
Instrumen dan peralatan laboratorium kami digunakan di banyak laboratorium ilmiah, lembaga penelitian ilmiah, universitas, rumah sakit, pusat pengendalian penyakit dan lembaga lainnya, dan digabungkan dengan banyak biofarmasi terkenal, energi baru, perusahaan elektronik, pengolahan makanan, perlindungan lingkungan, dll. Kerjasama perusahaan, produk kami yang stabil dan andal diekspor ke lebih dari 120 negara di seluruh dunia, dan telah sangat diakui oleh mereka, percaya LABOAO, kami tumbuh bersama!
